(1) Tratament pre-PVD, inclusiv curățarea articolelor și pretratarea.Metodele specifice de curățare includ curățarea cu detergent, curățarea cu solvenți chimici, curățarea cu ultrasunete și curățarea cu bombardament ionic.
(2) Puneți-le în cuptor, inclusiv curățarea camerei de vid și instalațiile de fixare, precum și instalarea, punerea în funcțiune și conectarea articolelor și dispozitivelor de fixare.
(3) Aspirarea, în general pomparea la 6,6 Pa sau mai mult, deschideți partea frontală a pompei de difuzie mai devreme pentru a menține pompa de vid și a încălzi pompa de difuzie.După ce preîncălzirea este suficientă, supapa de înaltă este deschisă și pompată la un vid de jumătate de fund de 6 x 10-3 Pa cu o pompă de difuzie.
(4) Coacerea, coacerea articolelor la temperatura dorită.
(5) Bombardament ionic, vidul este în general de 10 Pa la 10-1 Pa, tensiunea de bombardament ionic este o tensiune înaltă negativă de 200 V la 1 KV, iar timpul de atac este de 15 min la 30 min.
(6) Pre-topire, reglarea curentului pentru a pre-topi materialul, reglarea curentului pentru a pre-topi placa și degazarea timp de 1 min ~ 2 min.Depunerea prin evaporare.Curentul de evaporare este reglat după cum este necesar până la expirarea timpului de depunere dorit.Răcire, articolele sunt răcite la o anumită temperatură în camera de vid.
(7) După ce articolele sunt scoase, camera de vid este închisă, vidul este evacuat la l × l0-1Pa, iar pompa de difuzie este răcită la temperatura admisă înainte ca pompa de întreținere și apa de răcire să poată fi oprite.